水蒸汽噴射真空泵
　　一、含義
　　是利用水蒸汽射流抽氣的真空泵，簡稱噴射泵。具有啟動快，工作壓力范圍寬，抽氣量大，能直接排入大氣，結構簡單，因無運動構件而運行可靠，使用期長等特點。
　　二、優(yōu)點
　　結構簡單，體積小，易于維護；性價比高，適用于制造成本敏感的應用；高排氣速率，適用于短周期、高速氣體排放；免油的設計，不會污染、損壞或影響氣體質量。
　　三、應用
　　水蒸氣噴射真空泵已經廣泛應用于航空航天、電子、食品及半導體類行業(yè)。具體應用領域包括制造高純度半導體材料、太空模擬器件和檢漏器，以及排放揮發(fā)性有機物質等場合。
　　四、工作原理
　　利用高速的蒸汽噴射將氣體抽出，從而形成真空。有一定壓強的工作, 蒸汽通過拉瓦爾噴咀，減壓增速（蒸汽的勢能轉變?yōu)閯幽埽┮猿羲賴娙牖旌鲜?，與被抽介質混合，進行能量交換，混合后的氣體進入擴壓器，減速增壓（動通轉化為壓強能），為了減少后級泵的抽氣負荷，配置冷凝器，通過有一定溫差的兩種介質對流，進行熱交換，達到冷凝高溫介質目的，排到大氣壓。
　　連接到生產設備抽及其氣體、蒸汽或氣體并在泵內壓縮到10mmhg左右。繼續(xù)壓縮上述工作介質到70mmhg然后排之氣體引往列管冷凝器冷凝。冷凝后的液體進入下部水環(huán)泵抽吸，壓縮后往大氣中。